質(zhì)量流量計常用于需要精確測量氣體流量的系統(tǒng)。Alicat微小流量質(zhì)量流量計是一款精密、可重復、可定制化、被設計用于各種不同應用的質(zhì)量流量計，采用的層流壓差技術保證了速度極快的線性測量，默認的標準功能包括：200：1量程可調(diào)比，可精確測量滿量程兩百分之一的流量；內(nèi)置30種氣體可選，為客戶減少由于氣體種類多樣性而造成的不必要的庫存；多功能的按鈕操作數(shù)字顯示屏，為用戶提供了無需任何通訊產(chǎn)品優(yōu)勢

更新時間：2026-01-19

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一、Alicat微小流量質(zhì)量流量計產(chǎn)品特點

操作簡單

Alicat 質(zhì)量流量計(M系列)作為一個獨立設備，帶有多功能數(shù)字顯示屏，用戶可通過面板按鈕調(diào)節(jié)參數(shù)，無需連接但腦或其他任何復雜的編程軟件。

測量精確

標準型Alicat 質(zhì)量流量計(M系列)的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，增加高精選配項則可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。

高性價比

Alicat微小流量質(zhì)量流量計(M系列)本身耗電極小，從而降低了系統(tǒng)運營的成本，且相比與同類產(chǎn)品，其壓損亦相對較小，降低壓損意味著更多氣體進入到系統(tǒng)中，而不是停留在測量儀器中。除質(zhì)量流量外，M系列質(zhì)量流量計還可同時測量體積流量、壓力和溫度，您無需另外采購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經(jīng)氣體總量，是監(jiān)控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法。

性能

M系列質(zhì)量流量計可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量，配有多種模擬信號輸出及RS-232數(shù)字信號輸出。該系列質(zhì)量流量計亦有便攜式型號(MB系列)，采用一塊普通9伏電池供電，即成為一款二等標準流量校準設備。

反應靈敏

10毫秒典型反應時間，意味著Alicat 質(zhì)量流量計的響應速度比您的眨眼速度至少快兩倍。

體積嬌小

Alicat微小流量質(zhì)量流量計嬌小的本體使其極易被安裝于系統(tǒng)中或作為一款單獨的校準設備隨身攜帶。

高重復性

Alicat 的技術使得質(zhì)量流量計幾乎沒有可移動部件，所有零件都被內(nèi)置固定，腔體內(nèi)不存在物理變化，從而具有較高的*性和重復性。M系列質(zhì)量流量計的重復性可達±0.2% F.S。

值得信賴

現(xiàn)有超過90000臺Alicat設備正被使用在不同領域中，如：科學研究、泄漏測試、環(huán)境監(jiān)測、真空鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準證書。

二、Alicat微小流量質(zhì)量流量計性能參數(shù)

指標	ALICAT氣體質(zhì)量流量計
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....2000SLPM，3000SLPM，4000SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復性	±0.2%
量程比	200:1
響應時間	10ms
標準狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-100%
測量流量范圍	128％（過流率）
大耐壓	145psi
輸出信號（數(shù)字）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
數(shù)字信號可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號（模擬）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
模擬信號可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A）